ಅರೆವಾಹಕ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಬೆಳೆದಂತೆ, ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯ ಮಾನದಂಡಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಕಠಿಣವಾಗುತ್ತವೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಗುಣಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ನಿರ್ಧರಿಸುವ ಅಂಶವೆಂದರೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲಗಳು. ಈ ಅನಿಲಗಳು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಅನೇಕ ಪಾತ್ರಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ:
ನಿಖರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣ
ಮಾಲಿನ್ಯ ತಡೆಗಟ್ಟುವಿಕೆ
ಲೋಹಶಾಸ್ತ್ರ ಆಸ್ತಿ ವರ್ಧನೆ
ಈ ಪಾತ್ರಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲು, ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆ ಮತ್ತು ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿರಬೇಕು. ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲ ನಿರ್ವಹಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಅರೆವಾಹಕಗಳ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ದೃ ust ವಾದ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಅಸೆಂಬ್ಲಿಗಳು ಬೆಂಬಲಿಸಬೇಕು.
ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲಗಳು
ಅರೆವಾಹಕಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ವಿಭಿನ್ನ ಅನಿಲಗಳ ಬಳಕೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.
ಸಾರಜನಕ, ಹೈಡ್ರೋಜನ್, ಆರ್ಗಾನ್ ಮತ್ತು ಹೀಲಿಯಂನಂತಹ ಸಾಮಾನ್ಯ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಅವುಗಳ ಶುದ್ಧ ರೂಪದಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದಾದರೂ, ಕೆಲವು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ವಿಶೇಷ ಮಿಶ್ರಣಗಳು ಬೇಕಾಗಬಹುದು. ಸಿಲೇನ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಸಿಲೋಕ್ಸೇನ್‌ಗಳು, ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್‌ಗಳು, ಹಾಲೈಡ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಹೈಡ್ರೋಕಾರ್ಬನ್‌ಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಕೆಲವು ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳಾಗಿವೆ. ಈ ಅನೇಕ ಅನಿಲಗಳು ಅಪಾಯಕಾರಿ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕವಾಗಿರಬಹುದು, ಅನಿಲ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಘಟಕಗಳ ಆಯ್ಕೆ ಮತ್ತು ವಿನ್ಯಾಸದಲ್ಲಿ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತದೆ.
ಕೆಲವು ಉದಾಹರಣೆಗಳು ಇಲ್ಲಿವೆ:
\ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಮತ್ತು ಹೀಲಿಯಂ ಸಣ್ಣ ಪರಮಾಣು ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ತೂಕದಿಂದಾಗಿ ಪೈಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಂದ ಸುಲಭವಾಗಿ ಸೋರಿಕೆಯಾಗಬಹುದು.
\ ಸಿಲೇನ್‌ಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಸುಡುವಂತಹವುಗಳಾಗಿವೆ ಮತ್ತು ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿ ಸ್ವಯಂಪ್ರೇರಿತವಾಗಿ ದಹಿಸಬಹುದು (ಆಟೋಆಗ್ನೈಟ್).
\ ಸಾರಜನಕ ಡಿಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅನ್ನು ಶೇಖರಣೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಚೇಂಬರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಹಂತಗಳು ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಸೋರಿಕೆಯಾದಾಗ ಪ್ರಬಲ ಹಸಿರುಮನೆ ಅನಿಲವಾಗುತ್ತದೆ.
\ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲ) ಲೋಹದ ಕೊಳವೆಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ನಾಶಕಾರಿ.
\ ಟ್ರಿಮೆಥೈಲ್‌ಗಲ್ಲಿಯಮ್ ಮತ್ತು ಅಮೋನಿಯಾವನ್ನು ನಿಭಾಯಿಸಲು ಕಷ್ಟವಾಗಬಹುದು - ಅವುಗಳ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಒತ್ತಡದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಲ್ಲಿನ ಸಣ್ಣ ಏರಿಳಿತಗಳು ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು.
ಈ ಅನಿಲಗಳ negative ಣಾತ್ಮಕ ಪರಿಣಾಮಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವುದು ಸಿಸ್ಟಮ್ ವಿನ್ಯಾಸದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮೊದಲ ಆದ್ಯತೆಯಾಗಿರಬೇಕು. ಬಿಲ್ಡ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಎಎಫ್‌ಕೆ ಡಯಾಫ್ರಾಮ್ ಕವಾಟಗಳಂತಹ ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಅಷ್ಟೇ ಮುಖ್ಯ.
ಸಿಸ್ಟಮ್ ವಿನ್ಯಾಸ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಎದುರಿಸುವುದು
ಅರೆವಾಹಕ ದರ್ಜೆಯ ಅನಿಲಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂದರ್ಭಗಳಲ್ಲಿವೆ ಮತ್ತು ಜಡ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ ಅಥವಾ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಶೇಖರಣಾ ಅನಿಲಗಳಂತಹ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತವೆ. ಅಂತಹ ಅನಿಲಗಳ ಸೋರಿಕೆ ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯವು ನಕಾರಾತ್ಮಕ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಹರ್ಮೆಟಿಕಲ್ ಮೊಹರು ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕವಾಗಲು ಬಳಸುವ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಇದು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯದ ಸಾಧ್ಯತೆಯಿಲ್ಲ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸುಗಮ ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯವನ್ನು (ವಿದ್ಯುದ್ವಿಚ್ pill ೇದ್ಯ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್) ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುನ್ನತ ಮಟ್ಟದ ಸ್ವಚ್ l ತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.
ಇದಲ್ಲದೆ, ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಈ ಕೆಲವು ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಬಿಸಿಮಾಡಬಹುದು ಅಥವಾ ತಂಪಾಗಿಸಬಹುದು. ಉತ್ತಮ ನಿರೋಧಕ ಘಟಕಗಳು ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತವೆ, ಇದು ಅಂತಿಮ ಉತ್ಪನ್ನದ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
ಮೂಲ ಒಳಹರಿವಿನಿಂದ ಬಳಕೆಯ ಹಂತದವರೆಗೆ, ಎಎಫ್‌ಕೆ ಯ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಘಟಕಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆಗಳಲ್ಲಿ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಶುದ್ಧತೆ, ತಾಪಮಾನ, ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ಹರಿವಿನ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತವೆ.
ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಘಟಕಗಳೊಂದಿಗೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು
ಗುಣಮಟ್ಟದ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ವಿನ್ಯಾಸ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ಪಾತ್ರವು ಅರೆವಾಹಕಗಳ ನಿಖರ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷಿತ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಉತ್ಪಾದನೆಯ ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ವಿಭಿನ್ನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಷರತ್ತುಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಸಲು ಬಳಸಿದ ಘಟಕಗಳು ದೃ ust ವಾದ ಮತ್ತು ಸೋರಿಕೆ-ಮುಕ್ತವಾಗಿರಬೇಕು. ಎಎಫ್‌ಕೆ ಯ ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಕವಾಟಗಳು, ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್‌ಗಳು, ನಿಯಂತ್ರಕರು, ಪೈಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಸೀಲಿಂಗ್ ಬ್ರಾಕೆಟ್‌ಗಳನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲಾಗಿದೆ:
ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೆಚ್ಚಿನ ಪರಿಶುದ್ಧತೆ
ಸೋರಿಕೆ ಮುಕ್ತ ಮುದ್ರೆಗಳು
ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಿತ ನಿರೋಧನ
ಒತ್ತಡ ನಿಯಂತ್ರಣ
ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧನ
ವಿದ್ಯುದ್ವಿಚ್ polೇದನ ಚಿಕಿತ್ಸೆ
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಅಕ್ಟೋಬರ್ -09-2023