ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಅನಿಲಗಳ ಜನಪ್ರಿಯತೆ

ಅರೆವಾಹಕ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯುದ್ದಕ್ಕೂ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಅನಿಲಗಳು ಅವಶ್ಯಕ. ವಾಸ್ತವವಾಗಿ, ಒಂದು ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ನಂತರದ ಅತಿದೊಡ್ಡ ವಸ್ತು ವೆಚ್ಚವಾಗಿದೆ. ಜಾಗತಿಕ ಚಿಪ್ ಕೊರತೆಯ ಹಿನ್ನೆಲೆಯಲ್ಲಿ, ಉದ್ಯಮವು ಎಂದಿಗಿಂತಲೂ ವೇಗವಾಗಿ ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತಿದೆ - ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲಗಳ ಬೇಡಿಕೆ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಬೃಹತ್ ಅನಿಲಗಳು ಸಾರಜನಕ, ಹೀಲಿಯಂ, ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಮತ್ತು ಆರ್ಗಾನ್.

Nಇಟೆರಜನಕ

ಸಾರಜನಕವು ನಮ್ಮ ವಾತಾವರಣದ 78% ರಷ್ಟಿದೆ ಮತ್ತು ಇದು ತುಂಬಾ ಹೇರಳವಾಗಿದೆ. ಇದು ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡ ಮತ್ತು ವಾಹಕವಲ್ಲ. ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ, ಸಾರಜನಕವು ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಜಡ ಅನಿಲವಾಗಿ ಹಲವಾರು ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಿಗೆ ದಾರಿ ಮಾಡಿಕೊಟ್ಟಿದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮವು ಸಾರಜನಕದ ಪ್ರಮುಖ ಗ್ರಾಹಕ. ಆಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಘಟಕವು ಗಂಟೆಗೆ 50,000 ಘನ ಮೀಟರ್ ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಬಳಸುವ ನಿರೀಕ್ಷೆಯಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ, ಸಾರಜನಕವು ಅನಿಲವನ್ನು ಜಡ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧೀಕರಿಸುವ ಸಾಮಾನ್ಯ ಉದ್ದೇಶವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಆಮ್ಲಜನಕ ಮತ್ತು ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿ ತೇವಾಂಶದಿಂದ ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ.

ಹೀಲಿಯಂ

ಹೀಲಿಯಂ ಒಂದು ಜಡ ಅನಿಲ. ಇದರರ್ಥ, ಸಾರಜನಕದಂತೆಯೇ, ಹೀಲಿಯಂ ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡವಾಗಿರುತ್ತದೆ - ಆದರೆ ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಪ್ರಯೋಜನವನ್ನು ಸಹ ಹೊಂದಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಇದು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಉಪಯುಕ್ತವಾಗಿದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದ ಶಾಖವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ನಡೆಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಹಾನಿ ಮತ್ತು ಅನಗತ್ಯ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದ ಅವುಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಜಲಜನಕ

ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಅನ್ನು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯು ಇದಕ್ಕೆ ಹೊರತಾಗಿಲ್ಲ. ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಅನ್ನು ಇದಕ್ಕಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ:

ಎನೆಲಿಂಗ್: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ಬಿಸಿಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ರಚನೆಯನ್ನು ಸರಿಪಡಿಸಲು ನಿಧಾನವಾಗಿ ತಂಪಾಗುತ್ತದೆ (ಅನಿಯಲ್). ಶಾಖವನ್ನು ವೇಫರ್‌ಗೆ ಸಮವಾಗಿ ವರ್ಗಾಯಿಸಲು ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ರಚನೆಯನ್ನು ಪುನರ್ನಿರ್ಮಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡಲು ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಜರ್ಮೇನಿಯಂನಂತಹ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಶೇಖರಣೆಯಲ್ಲಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಏಜೆಂಟ್ ಆಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಶೇಖರಣೆ: ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಅನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಡೋಪ್ ಮಾಡಬಹುದು, ಅವುಗಳ ಪರಮಾಣು ರಚನೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಅಸ್ತವ್ಯಸ್ತಗೊಳಿಸಬಹುದು, ಇದು ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್: ಯುವಿ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಬೆಳಕಿನ ಮೂಲಗಳಿಂದ ತವರ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವಲ್ಲಿ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿದೆ.

ನಾರುಗ

ಆರ್ಗಾನ್ ಮತ್ತೊಂದು ಉದಾತ್ತ ಅನಿಲವಾಗಿದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಇದು ಸಾರಜನಕ ಮತ್ತು ಹೀಲಿಯಂನಂತೆಯೇ ಕಡಿಮೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕತೆಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಆರ್ಗಾನ್‌ನ ಕಡಿಮೆ ಅಯಾನೀಕರಣ ಶಕ್ತಿಯು ಅರೆವಾಹಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಇದು ಉಪಯುಕ್ತವಾಗಿಸುತ್ತದೆ. ಅಯಾನೀಕರಣದ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಸುಲಭತೆಯಿಂದಾಗಿ, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಆರ್ಗಾನ್ ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಯುವಿ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿಗಾಗಿ ಆರ್ಗಾನ್ ಅನ್ನು ಎಕ್ಸೈಮರ್ ಲೇಸರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಶುದ್ಧತೆ ಏಕೆ ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ

ವಿಶಿಷ್ಟವಾಗಿ, ಗಾತ್ರದ ಸ್ಕೇಲಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ಅರೆವಾಹಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿನ ಪ್ರಗತಿಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಹೊಸ ತಲೆಮಾರಿನ ಅರೆವಾಹಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಸಣ್ಣ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯದ ಗಾತ್ರಗಳಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ. ಇದು ಅನೇಕ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ: ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪರಿಮಾಣ, ಸುಧಾರಿತ ಪ್ರವಾಹಗಳು, ಕಡಿಮೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಬಳಕೆ ಮತ್ತು ವೇಗವಾಗಿ ಸ್ವಿಚಿಂಗ್ ನಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳು.

ಆದಾಗ್ಯೂ, ನಿರ್ಣಾಯಕ ಗಾತ್ರವು ಕಡಿಮೆಯಾದಂತೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕವಾಗುತ್ತವೆ. ವೈಯಕ್ತಿಕ ಪರಮಾಣುಗಳ ಸ್ಥಾನವು ಮುಖ್ಯವಾದ ಜಗತ್ತಿನಲ್ಲಿ, ದೋಷ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯ ಮಿತಿಗಳು ತುಂಬಾ ಬಿಗಿಯಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ, ಆಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯೊಂದಿಗೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅನಿಲಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ.

WOFLY ಎನ್ನುವುದು ಗ್ಯಾಸ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ಪರಿಣತಿ ಹೊಂದಿರುವ ಹೈಟೆಕ್ ಉದ್ಯಮವಾಗಿದೆ: ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಪ್ರಯೋಗಾಲಯ ಗ್ಯಾಸ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಸಿಸ್ಟಮ್, ಕೈಗಾರಿಕಾ ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಬೃಹತ್ ಅನಿಲ (ದ್ರವ) ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ವಿಶೇಷ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲ ದ್ವಿತೀಯಕ ಪೈಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ರಾಸಾಯನಿಕ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಶುದ್ಧ ನೀರು ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಪ್ರಾಜೆಕ್ಟ್ ಸೈಟ್ ನಿರ್ಮಾಣ, ಒಟ್ಟಾರೆ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಪರೀಕ್ಷೆ, ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಪೋಷಕ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಸಮಗ್ರ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ.