ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್‌ನಲ್ಲಿ, ಅನಿಲಗಳು ಎಲ್ಲಾ ಕೆಲಸಗಳನ್ನು ಮಾಡುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಲೇಸರ್ಗಳು ಎಲ್ಲಾ ಗಮನವನ್ನು ಸೆಳೆಯುತ್ತವೆ. ಲೇಸರ್ಗಳು ಎಚ್ಚ್ನ್ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಗಿ ಮಾಡುತ್ತಿದ್ದರೆ, ಮೊದಲು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವ ಮತ್ತು ಸಂಪೂರ್ಣ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಲೇಸರ್ ಅನ್ನು ಒಡೆಯುವ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲಗಳ ಸರಣಿಯಾಗಿದೆ. ಬಹು-ಹಂತದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೂಲಕ ಮೈಕ್ರೊಪ್ರೊಸೆಸರ್‌ಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುವ ಈ ಅನಿಲಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯಾಗಿರುವುದರಲ್ಲಿ ಆಶ್ಚರ್ಯವೇನಿಲ್ಲ. ಈ ಮಿತಿಯ ಜೊತೆಗೆ, ಅವರಲ್ಲಿ ಹಲವರು ಇತರ ಕಾಳಜಿ ಮತ್ತು ಮಿತಿಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದಾರೆ. ಕೆಲವು ಅನಿಲಗಳು ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್, ಇತರವುಗಳು ನಾಶಕಾರಿ, ಮತ್ತು ಇನ್ನೂ ಕೆಲವರು ಹೆಚ್ಚು ವಿಷಕಾರಿಯಾಗಿದೆ.
ಒಟ್ಟಾರೆಯಾಗಿ, ಈ ಮಿತಿಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಗಣನೀಯ ಸವಾಲಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ವಸ್ತು ವಿಶೇಷಣಗಳು ಬೇಡಿಕೆಯಿದೆ. ವಸ್ತು ವಿಶೇಷಣಗಳ ಜೊತೆಗೆ, ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ಶ್ರೇಣಿಯು ಅಂತರ್ಸಂಪರ್ಕಿತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಸಂಕೀರ್ಣ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಶ್ರೇಣಿಯಾಗಿದೆ. ಅವುಗಳನ್ನು ಜೋಡಿಸುವ ಪರಿಸರಗಳು ಸಂಕೀರ್ಣ ಮತ್ತು ಅತಿಕ್ರಮಣಗಳಾಗಿವೆ. ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಭಾಗವಾಗಿ ಸೈಟ್ನಲ್ಲಿ ಅಂತಿಮ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ನಡೆಯುತ್ತದೆ. ಬಿಗಿಯಾದ, ಸವಾಲಿನ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ನಿರ್ವಹಿಸುವಾಗ ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಕಕ್ಷೀಯ ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕುವಿಕೆಯು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮವು ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಹೇಗೆ ಬಳಸುತ್ತದೆ
ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ತಯಾರಿಕೆಯನ್ನು ಯೋಜಿಸಲು ಪ್ರಯತ್ನಿಸುವ ಮೊದಲು, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಕನಿಷ್ಠ ಮೂಲಭೂತ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಅವಶ್ಯಕ. ಅದರ ಅಂತರಂಗದಲ್ಲಿ, ಅರೆವಾಹಕಗಳು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಮೀಪವಿರುವ ಘನವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ನಿಯಂತ್ರಿತ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಲು ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತಾರೆ. ಈ ಠೇವಣಿ ಘನವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಅನಿಲಗಳು, ಲೇಸರ್ಗಳು, ರಾಸಾಯನಿಕ ಎಚೆಂಟ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಶಾಖವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸುವ ಮೂಲಕ ಮಾರ್ಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವಿಶಾಲ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಹಂತಗಳು:
ಶೇಖರಣೆ: ಆರಂಭಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ರಚಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಇದು. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಶೇಖರಣಾ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಪಂಪ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಅಥವಾ ಭೌತಿಕ ಸಂವಹನಗಳ ಮೂಲಕ ತೆಳುವಾದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ.
ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ: ಫೋಟೋ ವಿಭಾಗವು ಲೇಸರ್‌ಗಳನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿವರಣಾ ಚಿಪ್‌ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಬಳಸುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ತೀವ್ರವಾದ ನೇರಳಾತೀತ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ (ಇಯುವಿ) ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಮ್‌ನಲ್ಲಿ, ಮೈಕ್ರೊಪ್ರೊಸೆಸರ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ರಿಯನ್ನು ವೇಫರ್‌ಗೆ ಕೆತ್ತಲು ಕಾರ್ಬನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ ಲೇಸರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಎಚ್ಚಣೆ: ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ತಲಾಧಾರದಲ್ಲಿ ಆಯ್ದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಲು ಮತ್ತು ಕರಗಿಸಲು ಹ್ಯಾಲೊಜೆನ್-ಇಂಗಾಲದ ಅನಿಲವನ್ನು ಕೋಣೆಗೆ ಪಂಪ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಲೇಸರ್-ಮುದ್ರಿತ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ರಿಯನ್ನು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕೆತ್ತಿಸುತ್ತದೆ.
ಡೋಪಿಂಗ್: ಇದು ಅರೆವಾಹಕವು ನಡೆಸುವ ನಿಖರವಾದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸಲು ಕೆತ್ತಿದ ಮೇಲ್ಮೈಯ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುವ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಹಂತವಾಗಿದೆ.
ಎನೆಲಿಂಗ್: ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್ ಪದರಗಳ ನಡುವಿನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳು ಎತ್ತರದ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದಿಂದ ಪ್ರಚೋದಿಸಲ್ಪಡುತ್ತವೆ. ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ, ಇದು ಹಿಂದಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಅಂತಿಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ನಲ್ಲಿ ಅಂತಿಮ ಪ್ರೊಸೆಸರ್ ಅನ್ನು ರಚಿಸುತ್ತದೆ.
ಚೇಂಬರ್ ಮತ್ತು ಲೈನ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್: ಹಿಂದಿನ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲಗಳು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಡೋಪಿಂಗ್, ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು ವಿಷಕಾರಿ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಹಾನಿಕಾರಕ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಅಥವಾ ತೊಡೆದುಹಾಕಲು ತಟಸ್ಥಗೊಳಿಸುವ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ತುಂಬುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕೊಠಡಿ ಮತ್ತು ಅನಿಲ ರೇಖೆಗಳು ಹೊರಗಿನ ಪರಿಸರದಿಂದ ಯಾವುದೇ ಕಲುಷಿತ ಅನಿಲಗಳ ಒಳನುಗ್ಗುವಿಕೆಯನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಜಡ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ತುಂಬಬೇಕು.
ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿನ ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಸಂಕೀರ್ಣವಾಗಿವೆ ಏಕೆಂದರೆ ಹಲವಾರು ವಿಭಿನ್ನ ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಹರಿವು, ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಒತ್ತಡದ ಬಿಗಿಯಾದ ನಿಯಂತ್ರಣವು ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕು. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಪ್ರತಿ ಅನಿಲಕ್ಕೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಶುದ್ಧತೆಯಿಂದ ಇದು ಮತ್ತಷ್ಟು ಜಟಿಲವಾಗಿದೆ. ಹಿಂದಿನ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ರೇಖೆಗಳು ಮತ್ತು ಕೋಣೆಗಳಿಂದ ಹೊರಹಾಕಬೇಕು ಅಥವಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮುಂದಿನ ಹಂತವು ಪ್ರಾರಂಭವಾಗುವ ಮೊದಲು ತಟಸ್ಥಗೊಳಿಸಬೇಕು. ಇದರರ್ಥ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಖ್ಯೆಯ ವಿಶೇಷ ರೇಖೆಗಳು, ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕಿದ ಟ್ಯೂಬ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಮತ್ತು ಮೆತುನೀರ್ನಾಳಗಳ ನಡುವಿನ ಸಂಪರ್ಕಸಾಧನಗಳು, ಮೆತುನೀರ್ನಾಳಗಳು ಮತ್ತು ಟ್ಯೂಬ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಅನಿಲ ನಿಯಂತ್ರಕರು ಮತ್ತು ಸಂವೇದಕಗಳ ನಡುವಿನ ಸಂಪರ್ಕಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಈ ಹಿಂದೆ ಹೇಳಿದ ಎಲ್ಲಾ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ನೈಸರ್ಗಿಕ ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆಯ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಯಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಕವಾಟಗಳು ಮತ್ತು ಸೀಲಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ನಡುವಿನ ಸಂಪರ್ಕಸಾಧನಗಳು.
ಇದಲ್ಲದೆ, ಆಕಸ್ಮಿಕ ಸೋರಿಕೆಯ ಸಂದರ್ಭದಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಅಪಾಯಗಳನ್ನು ತಗ್ಗಿಸಲು ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್ ಹೊರಭಾಗಗಳು ಮತ್ತು ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಬೃಹತ್ ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ವಿಶೇಷ ಸೀಮಿತ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಅಂತಹ ಸಂಕೀರ್ಣ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಈ ಅನಿಲ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕುವುದು ಸುಲಭದ ಕೆಲಸವಲ್ಲ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ, ವಿವರಗಳಿಗೆ ಗಮನ ಮತ್ತು ಸರಿಯಾದ ಸಾಧನಗಳೊಂದಿಗೆ, ಈ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಯಶಸ್ವಿಯಾಗಿ ಸಾಧಿಸಬಹುದು.
ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪಾದನಾ ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು
ಅರೆವಾಹಕ ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ವಸ್ತುಗಳು ಹೆಚ್ಚು ವ್ಯತ್ಯಾಸಗೊಳ್ಳುತ್ತವೆ. ಹೆಚ್ಚು ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ವಿರೋಧಿಸಲು ಅವು ಪಿಟಿಎಫ್‌ಇ-ಲೇನ್ಡ್ ಮೆಟಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಮೆತುನೀರ್ನಾಳಗಳಂತಹ ವಿಷಯಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರಬಹುದು. ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯ ಉದ್ದೇಶದ ಕೊಳವೆಗಳಿಗಾಗಿ ಬಳಸುವ ಸಾಮಾನ್ಯ ವಸ್ತುಗಳು 316 ಎಲ್ ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ - ಕಡಿಮೆ ಇಂಗಾಲದ ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ರೂಪಾಂತರ. 316 ಎಲ್ ಮತ್ತು 316 ರ ವಿಷಯಕ್ಕೆ ಬಂದಾಗ, 316 ಎಲ್ ಇಂಟರ್ಗ್ರಾನ್ಯುಲರ್ ತುಕ್ಕು ಹಿಡಿಯಲು ಹೆಚ್ಚು ನಿರೋಧಕವಾಗಿದೆ. ಇಂಗಾಲವನ್ನು ನಾಶಮಾಡುವ ಹೆಚ್ಚು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಮತ್ತು ಸಂಭಾವ್ಯ ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಅನಿಲಗಳ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯೊಂದಿಗೆ ವ್ಯವಹರಿಸುವಾಗ ಇದು ಒಂದು ಪ್ರಮುಖವಾದ ಪರಿಗಣನೆಯಾಗಿದೆ. ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ 316 ಎಲ್ ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಕಡಿಮೆ ಇಂಗಾಲದ ಅವಕ್ಷೇಪಗಳನ್ನು ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಇದು ಧಾನ್ಯದ ಗಡಿ ಸವೆತದ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ವೆಲ್ಡ್ಸ್ ಮತ್ತು ಶಾಖ ಪೀಡಿತ ವಲಯಗಳಲ್ಲಿ ತುಕ್ಕು ಹಿಡಿಯಲು ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.
ಉತ್ಪನ್ನದ ರೇಖೆಯ ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುವ ಪೈಪಿಂಗ್ ತುಕ್ಕು ಸಾಧ್ಯತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು, 316 ಎಲ್ ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಶುದ್ಧ ಆರ್ಗಾನ್ ಶೀಲ್ಡ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಮತ್ತು ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಶೀಲ್ಡ್ ವೆಲ್ಡ್ ರೈಲ್ಸ್ನೊಂದಿಗೆ ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕಿದ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಪ್ರಮಾಣಿತವಾಗಿದೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕೊಳವೆಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಅಗತ್ಯವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುವ ಏಕೈಕ ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ. ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಕಕ್ಷೀಯ ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಅರೆವಾಹಕ ಅನಿಲ ವಿತರಣೆಯಲ್ಲಿ ಮಾತ್ರ ಲಭ್ಯವಿದೆ
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಜುಲೈ -18-2023